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Sistema de Redução de Gás / Unidade de Processamento Térmico (TPU-2) não é mais necessário para o funcionamento da própria empresa e está sendo vendido como uma liquidação de ativo para seu proprietário.
Descrição:
A Edwards Thermal Processing Unit (TPU) foi o primeiro sistema de redução híbrido produzido em massa capaz de reduzir os gases de efeito estufa. Como seu produto irmão, o Edwards Thermal Conditioning System (TCS), o gabinete TPU abriga uma combustão (queima) e um purificador úmido. Ao adicionar um suprimento de oxigênio à unidade, a temperatura de combustão é elevada para permitir que o TPU rache os gases de efeito estufa como C2F6, NF3 e SF6, que são comumente usados para limpeza de câmara nas mais severas aplicações de semicondutores, como PECVD.
A TPU pode ser configurada com 1-4 entradas e pode lidar com até 200 SLM de fluxo de gás. É normalmente integrado à ferramenta principal ou ao sistema de controle das câmaras de modo que o oxigênio seja consumido apenas quando a unidade precisar estar em modo de alto fogo para redução do PFC.
PECVD (Plasma Enhanced Chemichal Vapor Deposition) é usado para deposições assistidas por plasma. Os precursores gasosos são inseridos em uma câmara de baixo vácuo e, por meio da energia proveniente do plasma, se dissociam e reagem na superfície da amostra depositando o filme fino. O PECVD é usado para depositar nitreto de silício, óxido de silício e oxinitreto de silício.
Folha de dados :
Modelo: TPU-2
Número do modelo: Y11301005
Tipo de combustível: CH4 e O2
Aplicações típicas: Etch e CVD
Tensão: 110/230 1 Ph
Entradas: 1-4
Corrente de carga total: 12 FLA
240 volts | 1PH | 50 / 60HZ 3 fios
Ano de fabricação: de 1999 a 2004
IMPORTANTE: TODAS AS MÁQUINAS FORAM REMODELADAS COMO NOVAS EM 2016 (por favor, olhe as fotos para ver a certificação)
Fabricado na Inglaterra pela Edwards High Vacuum INT.
Dimensões da caixa: 90cm (L) x 160cm (L) x 220cm (A) Peso Bruto: 600kg
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